原子熒光光譜法從機理看來屬于發射光譜分析，但所用原子熒光光譜儀儀器及操作技術與原子吸收光譜法相似。原子熒光光譜法是以原子在輻射能激發下發射的熒光強度進行定量分析的發射光譜分析法。根據熒光產生機理的不同，原子熒光的類型達到十余種，但在實際分析中主要有:
1.共振熒光
處于基態或低能態的原子, 吸收光源中的共振輻射躍遷到高能態, 處于高能態的原子在返回基態或相同低能態的過程中, 發射出與激發光源輻射相同波長的熒光,這種熒光稱為共振熒光。
2.直躍線熒光
當處于基態的價電子受激躍遷至高能態（E2），處于高能態的激發態電子在躍遷到低能態（E1）（但不是基態）所發射出的熒光被稱為直躍線熒光。
 
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