1、選擇性強
原子熒光光譜儀譜線干擾的幾率小，由于譜線僅發生在主線系，而且譜線很窄，線重疊幾率較發射光譜要小得多，所以光譜干擾較小。
2、分析范圍廣
應用
原子熒光光譜儀可測定的元素達幾十種。它既可測定低含量和主量元素，又可測定微量、痕量甚至超痕量元素；也可測定金屬元素、類金屬元素，又可間接測定某些非金屬元素，這是區別于其他分析技術的優勢。
3、抗干擾能力強
在
原子熒光光譜儀中，待測元素只需從它的化合物中離解出來，而不必激發，故化學干擾也比發射光譜法少得多。
4、靈敏度高，精密度高
原子熒光光譜儀靈敏度高，使分析手續簡化可直接測定，縮短分析周期加快測量進程，由于靈敏度高，需要進樣量少，操作簡單，有效提高實驗效率。
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