原子熒光光譜儀是一種用于分析和測量物質中微量元素含量的儀器。它的發展歷史可以追溯到上世紀50年代。

最早的原子熒光光譜儀使用的是火焰原子吸收光譜法(FAAS)。在FAAS中，樣品通過火焰或高溫產生的氣體火焰中，元素原子蒸發并被吸收特定波長的光線。通過測量吸收到的光線強度，可以確定物質中元素的含量。

在20世紀60年代初，原子熒光光譜技術得到了重大突破，尤其是射頻電感耦合等離子體原子發射光譜法 (ICP-AES)的出現。ICP-AES利用高溫等離子體產生的席夫基光譜進行分析，可以同時分析多種元素，具有高靈敏度和較寬的線性范圍，成為重要的原子熒光光譜儀。

隨著技術的進步，原子熒光光譜儀的應用領域也不斷擴展。現代的原子熒光光譜儀通常采用碰撞式電離源，如電感耦合等離子體質譜法(ICP-MS)、電火花法 (AES)等，具有更高的分析靈敏度和多元素分析能力。

此外，隨著光電技術、微納技術的發展，一些新型的原子熒光光譜儀也出現在實驗室和工業應用中。例如，基于激光誘導擊穿光譜(LIBS) 的原子熒光光譜儀，利用激光將樣品擊穿產生等離子體，進而進行元素分析。這種技術具有無需樣品前處理、非接觸測量等優點，正在逐漸得到廣泛應用。

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